熱処理装置の市場動向:中国企業が急成長(2022年6月17日)

 本稿では、縦型熱処理装置の技術と市場動向をまとめていく。対象としては酸化拡散炉、アニール炉などを含んでいる。
 多くのウェーハを一括処理するバッチ方式である縦型熱処理装置による酸化、拡散プロセスは製造プロセスのなかでも処理時間が長い。生産性を上げるため、ウェーハ投入から回収までの時間(Turn Around Time:TAT)の短縮が必要とされている。短TATの実現を目指して、多くの開発が行われた。代表的な開発ポイントとしては以下のような点が挙げられる。
 目的の処理温度に到達するまでにかかる昇温時間と、反応終了後の冷却(降温)時間を短縮するため、高速昇降温ヒータの開発・搭載が行われた。また、反応炉構造、ガス制御についても改良を進め、反応炉全体の熱容量の最小化、ガス置換効率化を行った。このような開発は省エネ面でも効果をあげている。また、高速なウェーハ搬送システムの導入により、ウェーハの搬送・導入時間などの短縮を図っている。
 縦型熱処理装置は成熟した装置ではあるが、このような改良、改善により確実に生産性を向上させている。